К.В.Козлов - начальник лаборатории, ОАО «Концерн «Вега» В.Ф. Лось - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «Концерн «Вега» И.О. Порохов - к.т.н., начальник сектора, ФГУП «ЦНИРТИ им. академика А.И. Берга» А.Н. Шаманов - начальник отдела, ОАО «МНИИС»

Б.С. Горячкин1, Д.В. Бобров2

1,2 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
 

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, Н.А. Тихонов4, А.Е. Платонов5, А.Е. Петрунин6

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–6 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (г. Калуга, Россия)

3 vkshatalov@yandex.ru

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, А.К. Горбунов3, В.К. Шаталов4, Н.А. Тихонов5, А.Е. Платонов6, К.С. Джанаев7

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–7 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)

4 vkshatalov@yandex.ru

Н.А. Борсук1, Т.А. Онуфриева2, А.В. Максимов3

1–3 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (г. Калуга, Россия)

1 borsuk.65@yandex.ru, 2 onufrievata@bmstu.ru, 3 av_maximov@bk.ru