Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову рентгеновская эмиссионная спектроскопия
Миграция кислорода и формирование субоксидов кремния SiOx в низкоразмерной гетеросистеме SiO2/Si после имплантации ионами Si+
Д.А.Зацепин, к.фю-м.н.,доцент, Уральский государственный технический университет (УПИ), 620002 Екатеринбург, Россия. E-mail: nexcom@list.ru S. Kaschieva - Institute of Solid State Physics - Bulgarian Academy of Sciences, 1874 Sofia, Bulgaria. H.J. Fitting - Department of Physics, University of Rostock, Germany Э.З. Курмаев - Институт физики металлов Уральского Отделения Российской академии наук, 620041 Екатеринбург, Россия C.Н. Шамин - Институт физики металлов Уральского Отделения Российской академии наук, 620041 Екатеринбург, Россия