Н.Р. Гайнуллина - к.т.н., доцент, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: 79093073258@yangex.ru А.А. Мальцев - вед. инженер, Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: malcev_@mail.ru Р.Ш. Загидуллин - ст. преподаватель, Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: rustemshag1980@mail.ru

Р.В. Горюнов1, Н.С. Диняева2, С.Б. Кравцов3, Т.В. Вдовиченко4

1 ПАО «Радиофизика» (Москва, Россия)

1-4 Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)