В.М. Амербаев - д.т.н., гл. науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (ИППМ РАН) (Москва). Е-mail: NoFrost@inbox.ru Р.А. Соловьев - к.т.н., зав. отделом, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (ИППМ РАН) (Москва). E-mail: turbo@ippm.ru Д.В. Тельпухов - к.т.н., науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (ИППМ РАН) (Москва). Е-mail: NoFrost@inbox.ru Е.С. Балака - магистр техники и технологии, мл. науч. сотрудник, Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (ИППМ РАН) (Москва). Е-mail: Ssapra@hotbox.ru