Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову плазмохимическое травление
Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)