М.В. Морозов - к.т.н., доцент, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: MVMorozov@kai.ru А.Х. Гильмутдинов - д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой лазерных технологий, Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: albert.gilmutdinov@kai.ru З.Р. Идиатуллов - к.т.н., доцент, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: ZRIdiatullov@kai.ru В.В. Кадушкин - мл. науч. сотрудник, инженер, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: vvkadushkin@kai.ru С.В. Спиридонов - ст. преподаватель, инженер, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: com-m-a-i-l@yandex.ru Р.В. Чебухов - аспирант, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева E-mail: chebu2993@mail.ru