А.К. Горбунов - д.ф.-м.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: kf_mgtu_fiz@mail.ru А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru Л.В. Лысенко - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: baldprice@mail.ru А.Л. Лысенко - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана В.К. Шаталов - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vkshatalov@yandex.ru

А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru Л.В. Лысенко - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: baldprice@mail.ru В.К. Шаталов - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vkshatalov@yandex.ru А.К. Горбунов - д.ф.-м.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: kf_mgtu_fiz@mail.ru А.Л. Лысенко - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: kf_mgtu_fiz@mail.ru

Л.В. Лысенко1, В.К. Шаталов2, А.К. Горбунов3

1–3 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (г. Калуга, Россия)

2 vkshatalov@yandex.ru

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, Н.А. Тихонов4, А.Е. Платонов5, А.Е. Петрунин6

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–6 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (г. Калуга, Россия)

3 vkshatalov@yandex.ru