Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, А.К. Горбунов4

1, 2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)
3, 4 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
(национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)
1–4 vkshatalov@yandex.ru