Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, Н.А. Тихонов4, А.Е. Платонов5, А.Е. Петрунин6

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–6 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (г. Калуга, Россия)

3 vkshatalov@yandex.ru