Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ионное распыление
Эффективные электроды с нанопокрытиями для малогабаритных приборов
С.А. Лоскутов - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: loskutov@bmstu-kaluga.ru Д.К. Никифоров - к.ф.-м.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: dm_nikif@rambler.ru Н.И. Пчелинцева - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: pchelintseva.n@yandex.ru М.Г. Чистяков - студент, МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru