Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову индуктивно связанная плазма
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)