О.А. Рябушкин - к.ф.-м.н., доцент, Московский физико-технический институт (государственный университет), ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: roa228@mail.ru Р.И. Шайдуллин - науч. сотрудник, Московский физико-технический институт (государственный университет), ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: rs-mipt@mail.ru И.А. Зайцев - науч. сотрудник, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: hetziff@mail.ru

Е.А. Бычков – аспирант, кафедра «Медико-технические информационные технологии» (БМТ-2), МГТУ им. Н.Э. Баумана

E-mail: ipbychkov.e.a@yandex.ru

И.А. Кудашов – к.т.н., доцент, кафедра «Медико-технические информационные технологии» (БМТ-2), МГТУ им. Н.Э. Баумана

E-mail: KydashovV@mail.ru

C.И. Щукин – д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Медико-технические информационные технологии» (БМТ-2),  МГТУ им. Н.Э. Баумана

С.Б. Симакин – д.т.н., начальник отдела, Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского

E-mail: plasma@iontecs.ru

Е.А. Митрофанов – к.т.н., нач. лаборатории, Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского

E-mail: plasma@iontecs.ru 

Ю.Г. Смирнов1, В.Ю. Мартынова2, А.В. Кузьмин3, В.А. Баранов4

1 Пензенский государственный технологический университет (г. Пенза, Россия)
1 mmm@pnzgu.ru, 2lynxbax@pnzgu.ru, 3 a.v.kuzmin@pnzgu.ru, 4 baranov_va2202@mail.ru