+7(495)625-9241
info@radiotec.ru
В.В. Курганов¹, В.И. Джиган²
1 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва, г. Зеленоград, Россия)
2 ФГБУН «Институт проблем проектирования в микроэлектронике» Российской академии наук (Москва, г. Зеленоград, Россия)
В.И. Джиган
Инcтитут проблем проектирования в микроэлектронике РАН (Москва, г. Зеленоград, Россия)