Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову давление аргона
Влияние технологических факторов магнетронного напыления на сопротивление тонкопленочных резисторов

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, А.В. Шишлов3

1–3 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 orange_a@list.ru