Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову глубокий рельеф
Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2

1,2 Московский Государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
(Национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 milan85@gmail.com