Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову гексафторид серы
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
 

Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2

1,2 Московский Государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
(Национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 milan85@gmail.com