М.В. Морозов - ассистент, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева. E-mail: MVMorozov@kai.ru А.Р. Бадрутдинов - аспирант, кафедра «Нанотехнологии в электронике» им. А.Н. Туполева. E-mail: airatos91@mail.ru А.Х. Гильмутдинов - д.ф.-м.н., профессор, кафедра лазерных технологий им. А.Н. Туполева. E-mail: albert.gilmutdinov@kai.ru Р.Р. Файзуллин - д.т.н., профессор, кафедра «Нанотехнологии в электронике» им. А.Н. Туполева. E-mail: rrfayzullin@kai.ru

М.В. Морозов - ассистент, кафедра «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева. E-mail: MVMorozov@kai.ru А.Р. Бадрутдинов - аспирант, кафедра «Нанотехнологии в электронике» им. А.Н. Туполева. E-mail: airatos91@mail.ru А.Х. Гильмутдинов - д.ф.-м.н., профессор, кафедра лазерных технологий им. А.Н. Туполева. E-mail: albert.gilmutdinov@kai.ru Р.Р. Файзуллин - д.т.н., профессор, кафедра «Нанотехнологии в электронике» им. А.Н. Туполева. E-mail: rrfayzullin@kai.ru