Н.М. Ушаков - д.ф.-м.н., зав. лабораторией субмикронной электроники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН; профессор, кафедра «Радиоэлектроника и телекоммуникации», Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: nmu@bk.ru И.Д. Кособудский - д.х.н., вед. науч. сотрудник, лаборатория субмикронной электроники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН; профессор, кафедра общей химии, Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: ikosobudskyi@gmail.com В.Я. Подвигалкин - к.т.н., вед. инженер, лаборатория субмикронной электроники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: podvigalkin@ya.ru