Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову КМОП-технология
Исследование элементов хранения на основе сегнетоэлектрика для производства энергонезависимой памяти (FeRAM)

И.В. Орехова1, А.Ю. Азов2, Г.В. Тимофеева3, С.Д. Серов4, И.В. Баранова5, А.В. Плотнов6

1–6 ФГУП «РФЯЦ-ВНИИЭФ» (г. Саров, Россия)
1 ivstepanova@vniief.ru, 2 aazov@niiis.nnov.ru, 3 gtimofeeva@niiis.nnov.ru, 4 sdserov@vniief.ru,
5 petreeva@mail.ru, 6 aplotnov@niiis.nnov.ru