Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ВЧ-магнетронное распыление
Д.М. Долгинцев - инженер-исследователь, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург). Е-mail: thphys@herzen.spb.ru
А.Г. Канарейкин - аспирант, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург). Е-mail: thphys@herzen.spb.ru
В.П. Пронин - д.ф-м.н., профессор, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург). Е-mail: thphys@herzen.spb.ru
Е.Ю. Каптелов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). Е-mail: Kaptelov@mail.ioffe.ru
С.В. Сенкевич - к.ф-м.н., науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). Е-mail: SenkevichSV@mail.ioffe.ru
И.П. Пронин - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). Е-mail: Petrovich@mail.ioffe.ru