В.С. Гуров - д.т.н., профессор, ректор, зав. кафедрой «Промышленная электроника», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: gurovvs@mail.ru П.И. Кукса - студент, кафедра «Общая и экспериментальная физика», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: kuksa_p@mail.ru

В.С. Гуров - д.т.н., профессор, ректор, зав. кафедрой «Промышленная электроника», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: gurovvs@mail.ru А.А. Трубицын - д.ф.-м.н., профессор, кафедра «Промышленная электроника», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: assur@bk.ru П.И. Кукса - студент, кафедра «Общая и экспериментальная физика», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: kuksa_p@mail.ru

В.С. Гуров - д.т.н., профессор, ректор Рязанского государственного радиотехнического университета. E-mail: gurovvs@mail.ru А.А. Трубицын - д.ф.-м.н., профессор, Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: assur@bk.ru Е.Ю. Грачев - к.т.н., доцент, Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: monopol_rus@mail.ru

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, О.П. Плотникова3, Е.В. Воробьев4, С.Г. Ивахненко5

1–5 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 plotnikova@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 ivakhnenko@bmstu.ru