К.Ю. Ахсянов - аспирант, соискатель кафедры конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, КГТУ им. А.Н. Туполева E-mail: roosnick @ kipmea.kstu-kai.ru И.Н. Русяев - ассистент, соискатель кафедры конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, КГТУ им. А.Н. Туполева E-mail: roosnick @ kipmea.kstu-kai.ru Н.Н. Русяев - к. т. н., доцент, кафедра конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, КГТУ им. А.Н. Туполева E-mail: roosnick @ kipmea.kstu-kai.ru