А.Г. Шеин - д.ф.-м.н., проф., зав. кафедрой физики, ВолгГТУ. E-mail: physics@vstu.ru Д.А. Барышев - студент 6-го курса, ВолгГТУ. E-mail: graf.d@bk.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН.E-mail: German_kos@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: kosakovskaya@bk.ru А.П. Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: petersmol@mtu-net.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: German_kos@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: kosakovskaya@bk.ru А.П. Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: petersmol@mtu-net.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: German_kos@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: kosakovskaya@bk.ru А.П Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: petersmol@mtu-net.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: German_kos@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: kosakovskaya@bk.ru А.П Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: petersmol@mtu-net.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: German_kos@mail.ru Ю.И. Латышев - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Yurilatyshev@yahoo.com Е.В. Благов - зам. директора ИНМЭ РАН. E-mail: BlagovEV@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Kosakovskaya@bk.ru А.П. Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Petersmol@mtu-net.ru

Г.Г. Косаковский - аспирант, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: German_kos@mail.ru Ю.И. Латышев - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Yurilatyshev@yahoo.com Е.В. Благов - зам. директора ИНМЭ РАН. E-mail: BlagovEV@mail.ru З.Я. Косаковская - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Kosakovskaya@bk.ru А.П. Орлов - науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Andreyorlov@mail.ru А.М. Смолович - ст. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: Petersmol@mtu-net.ru

А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, зав. кафедрой промышленной экологии и химии, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru Д.В. Капустин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru В.И. Капустин - д.ф.-м.наук, профессор, МГТУ МИРЭА. E-mail: kapustin01@mail.ru

Н.В. Грецова - к.ф.-м. н., доцент, кафедра физики, Волгоградский государственный технический университет. E-mail: nataliagret@mail.ru А.А. Никитин - студент-магистрант 6-го курса, Волгоградский государственный технический университет. E-mail: alexnic34@gmail.com

И.К. Белова - к.ф.-м.н., доцент, кафедра «Программного обеспечения ЭВМ, информационных технологий и прикладной информатики», Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: bik23@yandex.ru Е.О. Дерюгина - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: syvorova_eo@mail.ru

В.И. Капустин - д.ф-м.н., профессор, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. E-mail: kapustin@mirea.ru А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Калужский филиал). E-mail: fn2kf@list.ru А.К. Захаров - к.т.н., профессор, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. E-mail: zakharovak38@mail.ru Д.В. Капустин - к.ф.-м.н., вед. инженер, ОАО МГТС (Москва). E-mail: kapustin01@mail.ru

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6

1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru