Е.Е. Козлова1, А.Р. Сафин2, С.А. Никитов3

1-3 ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

М.С. Лаптева1, А.В. Горбатова2, П.Ю. Авдеев3, Д.А. Абдуллаев4, А.И. Карцев5, Е.А. Булавинцева6, А.А. Климов7, А.М. Буряков8

1–3, 5–8 МИРЭА – Российский технологический университет (Москва, Россия)
4 Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (Москва, Россия)
5 Российский университет дружбы народов (Москва, Россия)
7 Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН (Москва, Россия)
1 lapteva@mirea.ru, 2 gorbatova@mirea.ru, 3 avdeev_p@mirea.ru, 4 abdullaev.d@inme-ras.ru, 5 karec1@gmail.com, 6 bulavinceva@mirea.ru, 7 klimov@mirea.ru, 8 buryakov@mirea.ru