Л.В. Лысенко1, В.К. Шаталов2

1,2 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)
 

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, А.К. Горбунов3, В.К. Шаталов4, Н.А. Тихонов5, А.Е. Платонов6, К.С. Джанаев7

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–7 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)

4 vkshatalov@yandex.ru