Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову Плазма высокочастотного разряда
Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления

Г.Р. Сагателян – д.т.н., профессор, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана

E-mail: h_sagatelyan@mail.ru

И.Ю. Грачев – студент, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана

E-mail: soweo8@gmail.com

К.Н. Бугорков – зам. нач. отдела, НИИ прикладной механики им. В.И. Кузнецова (Москва)

E-mail: Milan85@yandex.ru

Н.В. Федоркова – к.т.н., доцент, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана

E-mail: k_rl6@bmstu.ru