Н.О. Саиткулов - аспирант, КГТУ им. А.Н. Туполева И.К. Насыров - д. т. н., проф., проректор, директор НИИ нанотехнологий и наноматериалов КГТУ им. А.Н. Туполева; зав. кафедрой конструирования и производства микроэлектронной аппаратуры, КГТУ им. А.Н. Туполева E-mail: pumr@rektorat.kstu-rai.ru; nasyrov@admin.kstu-rai.ru

А.Р. Мухутдинов1, М.Г. Ефимов2, Ю.В. Яковлева3

1-3 Казанский национальный исследовательский технологический университет (г. Казань, Россия)

Р.А. Баташов1

1 Российский экономический университет имени Г.В. Плеханова (Москва, Россия)
1 rusbatashov@gmail.com

Р.А. Баташов1

1 Российский экономический университет имени Г.В. Плеханова

1rusbatashov@gmail.com