Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову Кольцевой магнетрон
Особенности магнетронного напыления внутренних сферических поверхностей

Г.Р. Сагателян1, А.В. Шишлов2, М.Н. Былинкин3

1 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)»

2,3 Филиал АО ЦЭНКИ – «НИИ ПМ им. акад. В.И. Кузнецова» (Москва, Россия)  

Формирование неравномерности толщины покрытия при напылении кольцевыми магнетронами на установках планетарного типа

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, М.Н. Былинкин3, А.В. Шишлов4

1,2,4 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
3АО ЦЭНКИ – филиал НИИПМ им. акад. В.И. Кузнецова (Москва, Россия)
1 h _sagatelyn@maul. ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 bylinkin5858@mail.ru, 4 orange_a@list.ru