Р.Р. Файзуллин - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Нанотехнологии в электронике», Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: rrfayzullin@kai.ru В.В. Кадушкин - вед. инженер, Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: vladislav.kadushkin@gmail.com Р.Ф. Зарипов - аспирант, Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева (КНИТУ-КАИ). E-mail: renat.zaripov@gmail.com