Н.М. Ушаков - д.ф.-м. н., зав. лабораторией субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов), профессор, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина. E-mail: nmu@bk.ru C.Ю. Молчанов - магистрант, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина. E-mail: canishe@yandex.ru И.Д. Кособудский - д.х.н., вед. науч. сотрудник лаборатории субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов), профессор, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А.Гагарина. E-mail: ikosobudskyi@gmail.com В.Я. Подвигалкин - к.т.н., вед. инженер лаборатории субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)

Н. М. Ушаков - д.ф.-м. н., зав. лабораторией субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов), профессор, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина. E-mail: nmu@bk.ru C. Ю. Молчанов - магистрант, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина. E-mail: canishe@yandex.ru И. Д. Кособудский - д.х.н., вед. науч. сотрудник лаборатории субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов), профессор, Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина. E-mail: ikosobudskyi@gmail.com В. Я. Подвигалкин - к.т.н., вед. инженер лаборатории субмикронной электроники СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)

Н.М. Ушаков - д.ф.-м.н., зав. лабораторией субмикронной электроники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН; профессор, кафедра «Радиотехника», Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: nmu@bk.ru С.Ю. Молчанов - аспирант, кафедра «Радиотехника», Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: canishe@yandex.ru

Н.М. Ушаков - д.ф.-м.н., зав. лабораторией субмикронной электроники, филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН; , кафедра «Радиотехника», Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: nmu@bk.ru С.Ю. Молчанов - аспирант, кафедра «Радиотехника», Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А. E-mail: canishe@yandex.ru