Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову катодное распыление
Процессы на поверхности катодов в тлеющем разряде
И.К. Белова - к.ф.-м.н., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Е.О. Дерюгина - к.т.н., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: bik23@yandex.ru