Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову МЭМС-технология
Достижения современной микроакустики: техника ПАВ и ОАВ в РЭА. Влияние МЭМС-технологий на РЭА
С. А. Доберштейн - к.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru И. В. Гончаров - инженер, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения». E-mail: info@oniip.ru