350 rub
Journal Science Intensive Technologies №6 for 2011 г.
Article in number:
Keywords: clusters pulse regime nanotechnology
Authors:
А.А. АНДРЕЕВ, Ю.А. ЕРМАКОВ, А.Е. ИЕШКИН, А.С. ПАТРАКЕЕВ, В.С. ЧЕРНЫШ ОАО «Тензор», Москва НИИЯФ МГУ, Москва Физический факультет МГУ Е-mail: AAA@msk.org.ru; yuriermak@yandex.ru; iae_2004@mail.ru; patran@phys.msu.ru; chernysh@phys.msu.ru
Abstract:
The accelerator of gas cluster ions with energies up to 20 keV is described. Parameters of main components of the equipment were determined. A pulse regime of the accelerator was demonstrated can be realised under a relatively pour (less then 500 l/sec) pumping speed of the cluster ions source. Conditions of a cluster beam steady generation were found. Cluster ions ArN+ with a number of atoms N ≥ 500 were detected in the beam by using deflection in a homogeneous magnetic field.
Pages: 3-11
References
  1. Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Свойства кластерных ионов // УФН. 1989. Т. 159. С. 45.
  2. Sigmund P. Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1987.V. 27. Р. 1.
  3. Insepov Z., Yamada I.Molecular dynamics study of shock wave generation by cluster impact on solid targets // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1996.V. 112. Р.16.
  4. Yamada I., Toyoda N.  Summary of recent research on gas cluster ion beam process technology // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 232. P.195.
  5. Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Применение кластерных ионов в нанотехнологии // Нанотехнологии: разработка, применение. 2009. Т.1. № 1. С. 23.
  6. PopokV.N., PrasalovichS.V., SamuelssonM., Campbell E.E.B. Design and capabilities of cluster implantation and deposition apparatus: First results on hillock formation under energetic cluster ion bombardment // Rev. Sci. Instr. 2002.V. 73.P. 4283.
  7. Seki T., Matsuo J. Development of 1 mA cluster ion beam source // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 237. P. 455.
  8. Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Проект ускорителя газовых кластерных ионов // Материалы 7-й Междунар. конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». Минск. 2007. С. 354.
  9. Crist S., Sherman P.M., Glass D.R.Study of the Highly Underexpanded Sonic Jet // AIAA J. 1966. V. 4. Р. 68.
  10. Hagena O.F., Obert W.  Cluster Formation in Expanding Supersonic Jets: Effect of Pressure, Temherature, Nozzle Size, and Test Gas // J. Chem. Phys. 1972. V. 56. P. 1793.
  11. Андреев А.А., Бачурин В.И., Линник С.П., Черныш В.С. Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. Харьков: Изд-во ХГУ. 1983. C.305.
  12. Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Черныш В.С. Расплывание пучков кластерных ионов // Труды XVII Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям. Обнинск. 2008. C.187.