Лучников П. А., Марин В. П., Лучников А.П.

Рассмотрены основные технологические принципы создания высокостабильного пленочного электретного элемента гибридной сандвич-структуры на основе пленок оксида кремния на кремнии с защитным слоем фторполимерного диэлектрика, выполненного технологическими методами полупроводниковой электроники при осаждении защитного фторполимерного слоя из активной газовой фазы.