Графутин В.И., Залужный А.Г., Калугин В.В., Прокопьев Е.П., Суворов А.Л., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А.

Обсуждены проблемы производства и основных применений структур кремний на изоляторе (КНИ) в современной науке и технике; показано, что предложенный метод синтеза поверхности кремния с заданным химическим составом ее активации и модификации с использованием специальной термообработки во влажных условиях (включая и возможность химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания) позволяет получать высококачественные структуры КНИ в процессе газового скалывания.