Досколович Л.Л., Кадомин И.И., Кадомина Е.А., Казанский Н.Л.

Предложен метод формирования линейных и радиально-симметричных интерференционных картин поверхностных электромагнитных волн с высокой пространственной частотой. Для получения интерференционных картин используются диэлектрические дифракционные решетки с металлической пленкой в области подложки. Результаты моделирования показывают возможность получения интерференционных картин с высоким контрастом и яркостью. Период дифракционной решетки может быть на порядок больше, чем период получаемой интерференционной картины. Это открывает новые возможности для создания высокопрецизионных записывающих устройств в нанолитографии.