350 rub
Journal Information-measuring and Control Systems №8 for 2012 г.
Article in number:
Integrated expert system for diagnosis of billet quality for electron-beam lithography
Keywords: the integrated expert system the task-oriented methodology AT-TECHNOLOGY workbench technical diagnosis knowledge base nanoelectronics electron-beam lithography
Authors:
G.V. Rybina, Yu.M. Blokhin, G.S. Gokhberg, A.S. Rudyi
Abstract:
In this paper new practical application of the task-oriented methodology and AT-TECHNOLOGY workbench to the integrated expert system (IES) prototype development for billets quality diagnosis for electron beam lithography is described. The applicability of IES development methods and tools for this problem domain is analyzed. Features of the diagnostic IES operation processes simulation in context of the task-oriented methodology and AT-TECHNOLOGY workbench tools usage are considered. Architecture, composition and structure of the IES prototype are described, examples of rules from knowledge base are given. Features of operation of the IES prototype for billets quality diagnosis for electron beam lithography and prospects for its further development are considered.
Pages: 21-28
References
  1. Рыбина Г.В.Теория и технология построения интегрированных экспертных систем. Монография. М: Научтехлитиздат. 2008.
  2. Рыбина Г.В.Современные интеллектуальные системы: проблемы интеграции и особенности технологии создания программного обеспечения // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 3. С. 12‑34.
  3. Рыбина Г.В.Интегрированные экспертные системы // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. №4. С. 22-47.
  4. Рыбина Г.В. Концептуальные основы задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 5. С. 33-51.
  5. Рыбина Г.В.Технология построения интегрированных экспертных систем на основе задачно-ориентированной методологии // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 6. С. 28-42.
  6. Рыбина Г.В.Теоретические основы задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 7. С. 27-42.
  7. Рыбина Г.В.Комбинированный метод приобретения знаний для построения баз знаний интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 8. С. 19-41.
  8. Рыбина Г.В.Применение интеллектуального анализа данных для построения баз знаний интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 9. С. 15-28.
  9. Рыбина Г.В. Модели и методы реализации интеллектуальной технологии построения интегрированных экспертных систем // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 10. С. 27-37.
  10. Рыбина Г.В.Инструментальный комплекс АТ-ТЕХНОЛОГИЯ для поддержки построения интегрированных экспертных систем: общая характеристика и перспективы развития // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 11. С. 17-40.
  11. Рыбина Г.В.Практическое применение задачно-ориентированной методологии построения интегрированных экспертных систем (обзор приложений в статических и динамических проблемных областях) // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2011. № 12.
  12. Щука А.А.Наноэлектроника. М.: Физматкнига. 2007.
  13. Ларман К.Применение UML и шаблонов проектирования. Изд. 2-е: пер. с англ. М.: Издательский дом Вильямс. 2002.
  14. Рыбина Г.В. Интеллектуальные обучающие системы на основе интегрированных экспертных систем: опыт разработки и использования // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2011. № 10. С. 4-16.