A.S. Shabalina - Research Scientist, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "R-sensors". E-mail: kbtform@mail.ru
D.L. Zajcev - Ph.D. (Phys.-Math.), Associate Professor, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "R-sensors", ООО "Nordlb". E-mail: Dmitry_Zaytsev@mail.ru
E.V. Egorov - Ph.D. (Phys.-Math.), Research Scientist, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "R-sensors". E-mail: EgorovEV@mail.ru
I.V. Egorov - Research Scientist, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "Seismologica". E-mail: egorov.ivan83@gmail.com
A.N. Antonov - Post-graduate Student, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "Nordlb". E-mail: antonov.mipt@gmail.com
A.S. Bugaev - Academician of RAS, Head of Department «Vacuum electronics», Moscow Institute of Physics and Technology, Deputy Director, Institute of Radio-engineering and Electronics of RAS Fryazino branch. E-mail: bugaev@cplire.ru
V.M. Agafonov - Ph.D. (Phys.-Math.), Associate Professor, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "R-sensors", ООО "Seismologica". E-mail: agvadim@yandex.ru
V.G. Krishtop - Ph.D. (Phys.-Math.), Associate Professor, Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials RAS, Moscow Institute of Physics and Technology, ООО "Seismologica". E-mail: krishtop@iptm.ru

In paper we describe the basic principles of the sensors based on a molecular electronic transducers (MET), review the re-search of the physical processes and performance characteristics of MET, discuss about modern manufacturing technologies and the new applications of planar microelectronic MET. At the end of the article, we have made an overview of devices and systems based on the MET.

 

1. Vvedenie v molekuljarnuju jelektroniku / pod red. N.S. Lidorenko. M.: Jenergoatomizdat. 1984.
2. Grafov B.M. i dr. Jelektrohimicheskie preobrazovateli pervichnoj informacii. M.: Mashinostroenie. 1969.
3. Newman J., Thomas-Alyea K.E. Electrochemical Systems, 3rd ed. John Wiley & Sons. Inc.. Hoboken. NJ. 2004.
4. Larkam C.W. Theoretical Analysis of the Solion Polarized Cathode Acoustic Linear Transducer // Journal of Acoustical Society of America. 1965. April. V. 37. № 4. P. 664-678.
5. Lidorenko N.S. Hemotronika. Jelektrotehnika. 1965. № 3. S. 1-3.
6. Grafov B.M. K raschetu diffuzionnogo potoka na vibrirujushhij jelektrod // Jelektrohimija. 1967. T. 3. S. 935-940.
7. Grafov B.M. O vlijanii periodicheski izmenjajushhegosja vo vremeni gidrodinamicheskogo potoka na predel'nyj diffuzionnyj potok // Jelektrohimija. 1968. T. 4. S. 542-545.
8. Borovkov V.S., Grafov B.M., Novikov A.A. i dr. Jelektrohimicheskie preobrazovateli pervichnoj informacii / M.: Mashinostroenie. 1969.
9. Grafov B.M., Ukshe E.A.Jelektrohimicheskie cepi peremennogo toka. M.: Nauka. 1973.
10. Klimenkov E.Ja., Grafov B.M., Levich V.G., Strizhevskij I.V. O predel'nom toke jelektroda, zanimajushhego vnutrennjuju poverhnost' kanala // Jelektrohimija. 1969. T. 5. S. 202-206.
11. Martem'janov S.A., Vorotyncev M.A., Grafov B.M. Konvektivnaja diffuzija okolo blizko raspolozhennyh planarnyh jelektrodov // Jelektrohimija. 1979. T. 15. S. 1256-1259.
12. Grigin A.P., Il'in B.I., Pet'kin N.V.Stacionarnaja konvektivnaja diffuzija v tonkom sfericheskom sloe // Jelektrohimija. 1980. T. 16. S. 714-717.
13. Vjaselev M.R., Miftahov A.G., Sultanov Je.I. Teorija jelektrohimicheskogo preobrazovatelja peremennogo toka na osnove dvumernoj modeli // Jelektrohimija. 2002. T. 38. № 2. S. 239.
14. Kozlov V.A. Sovremennoe sostojanie razrabotok v oblasti molekuljarno-jelektronnyh preobrazovatelej parametrov dvizhenija i volnovyh polej // Uspehi sovremennoj radiojelektroniki. 2004. № 5,6.
15. Zaharov I.S., Kozlov V.A., Safonov M.V.Osobennosti amplitudno-chastotnoj harakteristiki bazovoj modeli molekuljarno-jelektronnogo akselerometra // Izvestija vuzov. Jelektronika. 2003. V. 2.
16. Zaharov I.S., Kozlov V.A. Stacionarnaja konvektivnaja diffuzija i nelinejnye jeffekty v jelektrohimicheskom preobrazovatele // Jelektrohimija. 2003. T. 39. № 4. S. 447-451.
17. Agafonov V.M., Krishtop V.G.Issledovanie AChH Molekuljarno-jelektronnogo preobrazovatelja s novoj geometriej // Mikrosistemnaja tehnika. 2004. № 9. S. 40-45.
18. Agafonov V.M., Krishtop V.G.Chastotnaja harakteristika diffuzionnogo datchika mehanicheskih signalov na vysokih chastotah // Jelektrohimija. 2004. T. 40. № 5. S. 606-611.
19. Kozlov V.A., Tugaev P.A. Vlijanie geometrii jelektrohimicheskoj jachejki na chastotnuju zavisimost' ee neravnovesnogo impedansa i toka v uslovijah konvektivnoj diffuzii // Jelektrohimija. 1996. T. 32. Vyp. 12. S. 1436-1443.
20. Babanin A.V., Kozlov V.A., Pet'kin N.V.Chastotnaja zavisimost' peredatochnoj funkcii molekuljarno-jelektronnogo preobrazovatelja dlja cilindricheskoj geometrii jelektrodnoj sistemy / Jelektrohimija. 1991. T. 26. Vyp. 5. S. 601.
21. Kozlov V.A., Korshak A.S., Pet'kin N.V.Konvektivnaja diffuzija v sisteme so sfericheskoj geometriej jelektrodov // Jelektrohimija. 1991. T. 27. Vyp. 1. S. 20-25.
22. Kozlov V.A., Terent'ev D.A. Korrekcija chastotnoj harakteristiki molekuljarno-jelektronnogo akselerometra vrashhatel'nyh dvizhenij v oblasti infranizkih chastot // Mikrosistemnaja tehnika. 2004. № 10. S. 41.
23. Klimenkov E.Ja., Grafov B.M., Levich V.G., Strizhevskij I.V. O predel'nom toke jelektroda, zanimajushhego vnutrennjuju poverhnost' kanala // Jelektrohimija. 1969. T. 5. S. 202-206.
24. Kozlov V.A., Terent'ev D.A. Peredatochnaja funkcija diffuzionnogo preobrazovatelja pri chastotah vyshe gidrodinamicheskoj // Jelektrohimija. 2003. T. 39. Vyp. 4. S. 443-449.
25. Krishtop V.G., Shabalina A.S.Chastotnaja harakteristika diffuzionnogo datchika mehanicheskih signalov na vysokih chastotah // Trudy XLVI nauch. konf. Moskovskogo fiziko-tehnicheskogo instituta. Dolgoprudnyj. 2002.
26. Kozlov V.A., Terent'ev D.A. Issledovanie chastotnyh harakteristik prostranstvenno ogranichennoj jelektrohimicheskoj jachejki v uslovijah konvektivnoj diffuzii // Jelektrohimija. 2002. T. 38. V. 9. S. 1104-1112.
27. Dudkin P.V. Prjamoe izmerenie jelektrohimicheskoj sostavljajushhej peredatochnoj funkcii molekuljarno-jelektronnogo preobrazovatelja mehanicheskih dvizhenij // Trudy XLV nauch. konf. Moskovskogo fiziko-tehnicheskogo instituta. Dolgoprudnyj. 2003.
28. Agafonov V.M., Orel A.A. Chislennoe modelirovanie molekuljarno-jelektronnogo perenosa v jachejke s planarnoj geometriej // Nano- i mikrosistemnaja tehnika. 2008. № 5.
29. Agafonov V.M., Bugaev A.S., Orel A.A. Nelinejnye javlenija v molekuljarno-jelektronnoj jachejke planarnogo tipa // Nano-i mikrosistemnaja tehnika. 2009. № 5. S. 32.
30. Safonov M.V. Fluktuacii diffuzionnogo toka molekuljarno-jelektronnogo preobrazovatelja v uslovijah svobodnoj konvekcii // Jelektronnyj zhurnal «Issledovano v Rossii». 2004. S. 2433-2447.
31. Bugaev A.S., Agafonov V.M., Krishtop V.G., Antonov A.N., Veretin V.S. Sejsmicheskie datchiki dlja ispol'zovanija v neftjanom i gazovom komplekse, osnovannye na molekuljarno-jelektronnom perenose v tverdotel'nyh i zhidkostnyh mikrosistemah // Neftegazopromyslovyj inzhiniring. 2013. Specvypusk № 3: itogi 2012. S. 46-52.
32. Agafonov V.M., Krishtop V.G., Safonov M.V. Izmeritel'nye ustrojstva na osnove molekuljarno-jelektronnogo perenosa v mikro- i nanostrukturah // Nano- i mikrosistemnaja tehnika. 2010. № 6. S. 47-53.
33. Krishtop V.G., Agafonov V.M., Bugaev A.S. Tehnologicheskie osnovy preobrazovatelej parametrov dvizhenija na principah perenosa massy i zarjada v jelektrohimicheskih mikrosistemah // Jelektrohimija. 2012. T. 48. №7. S. 820-829
34. http://www.r-sensors.ru
35. http://www.seismotronics.ru
36. http://www.nordlab.com
37. Agafonov A.M., Egorov E.V., Zajcev D.L.Princip raboty i rezul'taty jeksperimental'nyh issledovanij shumovyh harakteristik, stabil'nosti smeshhenija nulja i nelinejnyh iskazhenij izmeritelej linejnyh uskorenij na osnove molekuljarno-jelektronnyh preobrazovatelej // Giroskopija i navigacija. 2010. № 1. S. 72-80.
38. Agafonov V.M., Egorov E.V., Zajcev D.L.Molekuljarno-jelektronnye izmeriteli linejnyh uskorenij: Predvaritel'nye rezul'taty issledovanij // Giroskopija i navigacija. 2010. № 1. S.72-80.
39. Egorov E.V., Kozlov V.A., Jashkin A.V.Fazochastotnaja harakteristika peredatochnoj funkcii prostranstvenno ogranichennoj jelektrohimicheskoj jachejki // Jelektrohimija. 2007. T. 43. № 12. S. 1436-1442.
40. Kozlov V.A., Safonov M.V. Dinamicheskaja harakteristika jelektrohimicheskoj jachejki s setchatymi jelektrodami v uslovijah konvektivnoj diffuzii // Jelektrohimija. 2004. № 4. S. 460.
41. Agafonov V.M., Nesterov A.S.Konvektivnyj tok v chetyrehjelektrodnoj jelektrohimicheskoj jachejke pri razlichnyh granichnyh uslovijah na anodah // Jelektrohimija. 2005. T. 41. № 8. S. 987-992.
42. Agafonov V.M., Egorov I.V., Shabalina A.S.Principy raboty i tehnicheskie harakteristiki malogabaritnogo molekuljarno-jelektronnogo sejsmodatchika s otricatel'noj obratnoj svjaz'ju // Sejsmicheskie pribory. 2013. T. 49. № 1. S. 5-18.
43. Krishtop V.G. Jeksperimental'noe modelirovanie temperaturnoj zavisimosti amplitudno-chastotnoj harakteristiki preobrazovatelej vrashhatel'nyh dvizhenij na osnove jelektrohimicheskih preobrazovatelej // Jelektrohimija. 2014. T. 50. № 4.
44. Agafonov V.M., Krishtop V.G., Egorov I.V. Sejsmicheskie datchiki na principah molekuljarno- jelektronnogo perenosa v tverdotel'nyh i zhidkostnyh mikrostrukturah. Pribory i sistemy razvedochnoj geofiziki. 2013. T. 43. № 1 (43). S. 39-49.
45. Agafonov V.M., Afanas'ev K.A., Nikolaev A.N., Jashkin A.V. Novye odno- i mnogokomponentnye sejsmopreobrazovateli dlja sistem obnaruzhenija i lokalizacii. podvizhnyh ob#ektov // Novye promyshlennye tehnologii. № 6. 2010B.
46. Zajcev D.L., Agafonov V.M., Shabalina A.S.Shumovye harakteristiki molekuljarno-jelektronnyh izmeritelej uglovyh parametrov dvizhenija // Izvestija vuzov. Priborostroenie. 2009. T. 52. № 7. S. 55.
47. Agafonov V.M., Antonov A.N., Zajcev D.L. Sobstvennyj shum i nelinejnost' miniatjurnyh molekuljarno-jelektronnyh izmeritelej uglovyh dvizhenij // Datchiki i Sistemy. 2010. № 1. S. 7-12.
48. Krishtop V.G. Jeksperimental'noe modelirovanie temperaturnoj zavisimosti amplitudno-chastotnoj harakteristiki preobrazovatelej vrashhatel'nyh dvizhenij na osnove jelektrohimicheskih preobrazovatelej // Jelektrohimija. 2014. T. 50. № 4.
49. Kozlov V.A., Matveev V.M., Petkin N.V., Romashko D.N. Vrashhatel'naja sostavljajushhaja uprugogo volnovogo polja v blizhnej zone tochechnogo istochnika na poverhnosti // Prikladnaja mehanika i tehnicheskaja fizika. 1991. № 3. S. 130-134
50. http://www.rotational-seismology.org/
51. Lee W.H.K., Igel H., Trifunac M.D. Recent Advances in Ro-tational Seismology // Seismological Research Lett. 2009. V. 80. № 3. P. 479-480.
52. AgafonovA.M., EgorovE.V., ZajcevD.L., NeumoinK.A., SafonovM.V.Issledovanievozmozhnostiispol'zovanijamolekuljarno-jelektronnogoustrojstvadljaopredelenijanapravlenijanageograficheskijSever // Giroskopijainavigacija. 2010. № 3 (70). S. 14 - 24.
53. Zajcev D.L., Panteleev A.M. Primenenie molekuljarno-jelektronnoj tehnologii dlja reshenija zadachi navigacii peshehoda metodom ZUPT // Materialy XI konf. molodyh uchenyh «Navigacija i upravlenie dvizheniem» // Giroskopija i navigacija. 2009. № 2 (65). S. 103.
54. Agafonov V.M., Neumoin K.A., Safonov M.V.Seismic monitoring of linear and rotational oscillations of the multistory buildings in Moscow. 6th European Workshop on the seismic behaviour of Irregular and Complex Structures (6EWICS) O. Lavan, M. De Stefano (eds.) Haifa, Israel, 2011. 12-13 September.
55. Agafonov V.M., Afanas'ev K.A., Jashkin A.V. Opredelenie napravlenija na dvizhushhijsja obekt s ispol'zovaniem sejsmicheskogo modulja, soderzhashhego molekuljarno-jelektronnye datchiki dvizhenija // Trudy MFTI. 2013. T. 5, № 2b. S. 142-149.
56. Kozlov V.A., Agafonov V.M., Dudkin P.V.System of localization and management of the objects moving in the firm environment // Abstracts of International Scientific and Technical Conference - System Problem of Reliability, Quality, Information and Electronic Technologies?. 2005. October 3-14.