Алехин А. П.

Рассмотрены перспективы развития процессов формирования функциональных слоев в планарной нанотехнологии, в частности, совершенствование традиционных методов по пути «сверху - вниз» и разработка новых методов на основе синтеза функциональных слоев из атомов, молекул и их ансамблей по пути «снизу - вверх». Приведены два примера осаждения вещества с нанометровой точностью на кристаллической (полупроводники) и некристаллической (полимеры) подложках.