Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Нелинейная математическая модель процесса формирования тонкого легированного слоя при удалении примесей из германия и кремния

Балагур А.А.


Разработана нелинейная математическая модель процесса формирования тонкого легированного слоя при удалении примесей из германия и кремния при перекристаллизации и вытягивании; показано, что при отсутствии перемешивания расплава фронт кристаллизации формируется только за счет диффузии примесей в жидкой фазе и при достаточно малых скоростях вытягивания примесь, оттесняемая из кристаллизирующейся фазы в расплав, не будет успевать диффундировать от фронта кристаллизации; конкуренция диффузии и кристаллизации, за счет которой формируется узкая область, обогащенная или обедненная примесью, описана нелинейным параболическим уравнением.
Список литературы:

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio