Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы

Марин В.П., Вагин Л.Н.


Рассмотрены методы оптической диагностики плазмы с целью использования их для определения параметров высокочастотного и СВЧ-разрядов при давлении, близком к атмосферному. Выбраны методы измерения концентрации заряженных частиц и температуры электронов в разряде. Проведены экспериментальные исследования, показавшие, что в СВЧ-плазмотроне при определенных условиях концентрация нейтральных атомов аргона и степень ионизации газа составляют соответственно 9·1017 см–3 и 0,17% соответственно.
Список литературы:

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio