Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур

Лучников П. А., Марин В. П., Лучников А.П.


Рассмотрены основные технологические принципы создания высокостабильного пленочного электретного элемента гибридной сандвич-структуры на основе пленок оксида кремния на кремнии с защитным слоем фторполимерного диэлектрика, выполненного технологическими методами полупроводниковой электроники при осаждении защитного фторполимерного слоя из активной газовой фазы.
Список литературы:

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio