Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Применение многослойных пленок для тонкопленочных тензорезисторов в высокотемпературных чувствительных элементах датчиков давления

Ю.А.Зеленцов, И.В.Волохов. Е.В.Песков


Представлен опыт применения многослойных тонких пленок для высокостабильных термостойких тензорезисторных чувствительных элементов датчиков давления: описана технолокия получения многослойных тензорезисгоров: даны результаты испытаний экспериментальных образцов чувствительных элементов датчиков давления.

Список литературы:
  1. Зеленцов Ю.Л., Волохов И.В., Песков Е. В. Материалы IV Межрегионального совещания Тонкие пленки в электронике. Москва — Улан-Удэ, 1993.
  2. А.c. 1820416, 1101C 17/00 (Россия). Способ изготовления высокотемпературного тонкопленочного тензорезистора. И.С.Волохов, Е.В.Песков.

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio