Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Опыт разработки конструкции и технологии изготовления интегрального чувствительного элемента газоанализатора

И.В.Волохов, СА. Козин, В.Н. Чувашов


Представлен опыт разработки конструкции и технологии изготовления полупроводникового интегрального чувствительного элемента газоанализатора с тонкопленочным газочувствительным резистором из сплава паплщуя с серебром: рассмотрена технология изготовления полупроводникового интегрального чувствительного элемента со встроенным нагревателем и элементом контроля температуры.

Список литературы:
  1. Быковский Ю.А., Козленков В.Л., Никаааев И.Н„ Уточкин Ю.А. Прибор для измерения малых концентраций водорода. — Материалы конференции “Датчики на основе технологии микроэлектроники“. — Москва, 1989.
  2. Фаст Д.Д. Взаимодействие металлов с газами. — М: Металлургия, 1975.

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio