Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Конструктивно-технологические решения чувствительных элементов интегральных преобразователей механических величин

С.А. Козин, С.М. Горбунов


Рассмотрены конструктивно-технологические решения чувствительных элементов преобразователей механических величин. базирующихся на методах прецизионного стопгравления кремния на высоколегированных СЛОЯх: представлены вОзМОЖНости применения предложенных решений для чувствительных элементов преобразоващелей малых давлений и ускорений: приведены результаты их апробации на конкретных преобразователях.

Список литературы:
  1. Патент 9/04 (Россия). Полупроводниковый преобразователь давления и способ изттовления /С.Л.Козин.
  2. Нетерсон К. Кремний как механический материм. — ТИИЭР. 1982. т.70.
  3. Патент 732199. 1-9/04 (Россия). Преобразователь давленим и способ его изготошления /С.Л.Козин.
  4. Пазент 5002901. 11011.27/20 (США).
  5. Патент 1671066, 21 102 (Россия) . Способ изготовления емкостного преобразователя механических величин /С.Л.Козин, Т.Т. Чистякова.
May 29, 2020

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio