Radiotekhnika
Publishing house Radiotekhnika

"Publishing house Radiotekhnika":
scientific and technical literature.
Books and journals of publishing houses: IPRZHR, RS-PRESS, SCIENCE-PRESS


Тел.: +7 (495) 625-9241

 

Кремниевые интегральные датчики абсолютного давления

А.В.Саблин


Рассмотрены вопросы конструирования датчиков абсолютного давления на основе кремниевого интегрального тензопреобразователя. защищенного от внешней среди мембраной из нержавеющей стали; приведено описание конструкции, достигнутые характеристики.

Список литературы:
  1.  Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Радио и связь, 1991.
  2.  А.с. №15837668 (СССР). Полупроводниковый датчик давленим / А.Е. Саблин, В.М.Косоеоров, В.Н.Марин, Т.Н.Басулина.
  3. Wallis, Pomeranfz  Field Assisted Glass-Uela[] Sealing. — Јоигпаl ог Applied Phisics, 1969, v.4(). N21().
  4. Winfeler, Gaufschi. Piezoresistive Druckaufnehmez. Ubersetzung eines Vor1ages, gehalten.
June 24, 2020
May 29, 2020

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio