Радиотехника
Издательство РАДИОТЕХНИКА

"Издательство Радиотехника":
научно-техническая литература.
Книги, журналы издательств ИПРЖР, РС-ПРЕСС, САЙНС-ПРЕСС


Тел.: +7 (495) 625-9241

::Журналы
::Книги
 

Нелинейный мир / №1 - 2016

Статья в номере:

Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100)

Ключевые слова:

В.Я. Шаныгин – ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров – д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) С.Ю. Суздальцев – к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) Д.В. Нефедов – к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)


Показано, что при оптимальных длительностях осаждения углерода на кремниевые пластины с естественным оксидным покрытием происходит формирование доменов, латеральные размеры которых стабилизируются на уровне 200 нм, а высоты выступов, полученных плазмохимическим травлением кремния через доменные масковые покрытия, изменяются в интервале от 40 до 80 нм.
Список литературы:

 

  1. Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. // ПЖТФ. 2014. Т. 40. В. 7. С. 8.
  2. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности / Под ред. К. Оура. М.: Наука. 2006.

 

© Издательство «РАДИОТЕХНИКА», 2004-2017            Тел.: (495) 625-9241                   Designed by [SWAP]Studio